低溫等離子體技術(shù)：低溫等離子體是繼固態(tài)、液態(tài)、氣態(tài)之后的物質(zhì)第四態(tài)，當(dāng)外加電壓到達(dá)氣體的放電電壓時(shí)，氣體被擊穿，發(fā)作包含電子、各種離子、原子和自由基在內(nèi)的混合體。放電過(guò)程中雖然電子溫度很高，但重粒子溫度很低，整個(gè)體系出現(xiàn)低溫狀況，所以稱(chēng)為低溫等離子體。低溫等離子體降解污染物是利用這些高能電子、自由基等活性粒子和廢氣中的污染物作用，使污染物分子在短的時(shí)間內(nèi)發(fā)作分化，并發(fā)作后續(xù)的各種反響以到達(dá)降解惡臭廢氣處理的目的。

低溫等離子體的發(fā)作途徑很多，質(zhì)阻撓放電是一種取得高氣壓下低溫等離子體的放電辦法，這種放電發(fā)作于兩個(gè)電極之間。介質(zhì)阻撓放電可以在0.1～10105Pa的氣壓下進(jìn)行，具有輝光放電的大空間均勻放電和電暈放電的高氣壓運(yùn)轉(zhuǎn)的特點(diǎn)。整個(gè)放電是由許多在空間和時(shí)間上隨機(jī)分布的微放電構(gòu)成，這些微放電的持續(xù)時(shí)間很短，一般在10ns量級(jí)。介質(zhì)層對(duì)此類(lèi)放電有兩個(gè)主要作用：一是限制微放電中帶電粒子的運(yùn)動(dòng)，使微放電成為一個(gè)個(gè)短促的脈沖；二是讓微放電均勻穩(wěn)定地分布在整個(gè)面狀電極之間，防止火花放電。介質(zhì)阻撓放電因?yàn)殡姌O不直接與放電氣體發(fā)作觸摸，從而避免了電極的腐蝕問(wèn)題（SO2腐蝕性強(qiáng)）。

惡臭氣體處理設(shè)備在介質(zhì)阻撓放電過(guò)程中，電子從電場(chǎng)中取得能量，通過(guò)碰撞將能量轉(zhuǎn)化為污染物分子的內(nèi)能或動(dòng)能，這些取得能量的分子被激起或發(fā)作電離構(gòu)成活性基團(tuán)，一起空氣中的氧氣和水分在高能電子的作用下也可發(fā)作很多的新生態(tài)氫、臭氧和羥基氧等活性基團(tuán)，這些活性基團(tuán)相互碰撞后便引發(fā)了一系列雜亂的物理、化學(xué)反響。從等離子體的活性基團(tuán)組成可以看出，等離子體內(nèi)部富含化學(xué)活性的粒子，如電子、離子、自由基和激起態(tài)分子等。廢氣中的污染物質(zhì)與這些具有較高能量的活性基團(tuán)發(fā)作反響，轉(zhuǎn)化為CO2和H2O等物質(zhì)，從而到達(dá)凈化廢氣的意圖。